5-осни фрезовани керамични изолатори за полупроводниково оборудване и чисти помещения

В света на производството на полупроводници и чистите помещения с висок залог, всеки компонент трябва да осигурява безупречна производителност.ПФТ, ние сме специализирани в занаятите5-осни фрезовани керамични изолаторикоито предефинират прецизността и надеждността. С над 20+С дългогодишен опит, нашите решения са проектирани да отговарят на високите изисквания на полупроводниковото оборудване, осигурявайки термична стабилност, електрическа изолация и работа без замърсяване в ултрачувствителни условия.

Защо да изберете нашите 5-осни фрезовани керамични изолатори?

1.Разширени производствени възможности

Нашето съоръжение е оборудвано снай-съвременни 5-осни CNC фрезови машини, което позволява точност на микронно ниво при оформянето на усъвършенствана керамика като алуминиев оксид (Al₂O₃), силициев карбид (SiC) и алуминиев нитрид (AlN). За разлика от конвенционалните методи, 5-осната обработка позволява сложни геометрии – критични за компоненти като щифтове за повдигане на пластини, части от камерата за отлагане и плазменоустойчиви изолатори.

Основни характеристики:

•Прецизност:Толеранс от ±0,005 мм за безпроблемна интеграция в ASML литографски инструменти или Lam Research системи за ецване.
•Универсалност на материалите:Оптимизиран за 99,8% алуминиев оксид, високочист SiC и други съвременни керамични материали.
•Повърхностно покритие:Ra <0,2μm за минимизиране на генерирането на частици в чисти помещения от клас 1 по ISO.

2.Патентовано технологично инженерство

Нашите инженери са разработиликонтрол на процесите със затворен контуркоито се адаптират към крехкостта на керамиката по време на машинна обработка. Чрез комбиниране на техники за сухо фрезоване с амортизиране на вибрациите в реално време, ние постигаме повърхности без пукнатини и удължен живот на компонентите – дори при екстремни термични цикли (до 1600°C).

Акцент върху иновациите:

•Протоколи за облекчаване на стреса:Минимизиране на микропукнатините в AlN изолатори за CVD приложения.
•Обработки след машинна обработка:HIP (горещо изостатично пресоване) повишава плътността и устойчивостта на корозия.

3.Строго осигуряване на качеството

Всеки изолатор претърпява12-етапна инспекция, включително:

•CMM (Координатна измервателна машина)валидиране на критични измерения.
•Тестване за течове на хелийза вакуумна съвместимост.
•EDS (енергийно-дисперсионна рентгенова спектроскопия)за да се провери чистотата на материала.

НашиятСистема, сертифицирана по ISO 9001/14001осигурява проследимост от набавянето на суровини (доставени от доставчици от първо ниво като CoorsTek) до крайното опаковане.

Приложения: Където прецизността среща производителността

Нашите изолатори са надеждни в:

•Инструменти за ецване и отлагане:Компоненти с SiC покритие за плазмена устойчивост в модули Applied Materials™.
•Йонни имплантатори:Алуминиеви повдигащи щифтове с антистатично покритие за предотвратяване на подхлъзване на пластината.
•Метрологични системи:Изолатори с ниско термично разширение за EUV литографски платформи.

Казус:Водещ производител на оригинално оборудване за полупроводници намали времето за престой на инструментите с 40%, след като премина към нашите специално проектирани душове от SiC, които превъзхождаха частите на конкурентите при обработка на 300 мм пластини.

Отвъд производството: Партньорски подход

•Бързо прототипиране:Изпратете вашите CAD файлове и получете функционални прототипи до 7 дни.
•Опаковка за чисти помещения на място:Опционален монтаж за чисти помещения клас 10 за директна интеграция на инструменти.
•Доживотна техническа поддръжка:Нашите инженери предоставят анализ на износването и услуги за повторна обработка, за да удължат жизнения цикъл на компонентите.